WUD-20-E

Под заказ

WIKA · Измерение давления · Семейство WUD

Преобразователь сверхвысокой чистоты

Name: Преобразователь сверхвысокой чистоты
Brand: WIKA
SKU: WUD-2X-E

Ультравысокочистотный преобразователь с дисплеем и EtherCAT для высокоточного измерения давления в полупроводниковой промышленности

Диапазон

-14.5…5000 psi

Выход

EtherCAT · EtherCAT®

Точность

0.3 % of span

Защита

IP20

RoHSCEPressure Equipment DirectiveEMC Directive EN 61326

Цена

По запросу

Зависит от конфигурации

Заказать расчёт

+38 (067) 285-77-70·info@avigan.com.uaViberTelegram

Описание

Модель WUD-2x-E представляет собой особенно компактный преобразователь ультравысокой чистоты для высокоточного измерения давления ультрачистых газов в полупроводниковой промышленности. Это первый преобразователь, использующий SDP 5003.2080, и он обеспечивает максимальную защищённость инвестиций. Благодаря минимальному уровню шумов сигнала датчик обеспечивает точные измеренные значения в долгосрочной перспективе. Благодаря активной температурной компенсации даже при значительных колебаниях температуры. Измеренные значения можно просматривать на дисплее.

Особенности

Максимальная безопасность процесса благодаря file over EtherCAT ®
Расширенный спектр функций
Масштабируемые объёмы и индивидуальная адаптация для OEM-применений
Максимальная безопасность установки благодаря резервированию кабеля

Вопросы и ответы

Какие диапазоны давления доступны для модели WUD-2x-E?

Доступны избыточные диапазоны от 0 … 2 bar до 0 … 400 bar (в т. ч. в psi и MPa), а также вакуумметрические/комбинированные диапазоны от -1 … 1 bar до -1 … 250 bar и от -14,5 … 14,5 psi до -14,5 … 3000 psi.

Какова точность измерения?

Точность составляет 0,3 % диапазона согласно стандарту IEC 62828-1.

Какой выходной сигнал поддерживает преобразователь?

Преобразователь работает по протоколу EtherCAT®, что обеспечивает высокоскоростную передачу данных и резервирование кабеля.

Какое напряжение питания требуется?

Напряжение питания — DC 10 … 30 V.

Какие присоединения к процессу предусмотрены?

Предусмотрены варианты ¼" (накидная гайка, штуцерная гайка, приварной патрубок, Т-образный соединитель, фиксированная накидная гайка), а также уплотнения MSMC-seal и MSMW-seal размерами 1 ⅛" и 1 ½".

Из каких материалов изготовлены смачиваемые части?

Смачиваемые части выполнены из нержавеющей стали 1.4404 (316L), в том числе версии VIM/VAR и VIM/VAR Electropolished, либо из сплава 2.4711 / UNS R30003; электрополировка соответствует SEMI F19.

Для каких температур окружающей и рабочей среды рассчитан прибор?

Рабочая температура среды: -20 … +100 °C; температура окружающей среды: -10 … +60 °C.

Чем модель WUD-2x-E отличается от других преобразователей серии WUD?

Это первый преобразователь, использующий SDP 5003.2080, с дисплеем и интерфейсом EtherCAT®, поддержкой Failsafe over EtherCAT® и резервирования кабеля, что отличает его от моделей без цифровой промышленной сети.

Идентификация

Модель	WUD-20-E
Серия	WUD
Подтип	Transducer

Измерительный диапазон

Диапазон давления

0…30 psi · 0…60 psi · 0…100 psi · 0…2 bar · 0…4 bar · 0…7 bar · 0…2000 psi · 0…3000 psi · 0…5000 psi · -1…1 bar · -1…3 bar · -1…6 bar · -14.5…14.5 psi · -14.5…30 psi · -14.5…45 psi · -14.5…1000 psi · -14.5…2000 psi · -14.5…3000 psi · 0…160 bar · 0…0.2 MPa · 0…0.4 MPa · 0…0.7 MPa · 0…250 bar · 0…400 bar · -1…70 bar · -1…100 bar · -1…250 bar · 0…300 psi · 0…500 psi · 0…1000 psi

Точность измерения

Класс точности	0.3 % of span
Стандарт точности	IEC 62828-1

Технологические условия

Технологическое присоединение	¼" swivel union nut¼" male swivel nut¼" weld stub¼" T-connector¼" fixed male nutMSMC-seal 1 ⅛"MSMW-seal 1 ⅛"MSMC-seal 1 ½"MSMW-seal 1 ½"1/4" swivel union nut1/4" male swivel nut1/4" weld stub1/4" T-connector
Темп. процесса	−20…+100 °C

Электрические характеристики

Выходной сигнал	EtherCAT · EtherCAT®
Питание	DC 10 … 30 V
Электр. соединение	Circular connector M8 x 1 (3-pin) per DIN EN 61076-2-104, Ethernet CAT5e RJ45, shield connected

Материалы

Материал корпуса	Stainless steel 1.4301 (304)
Материал смачиваемых частей	Stainless steel 1.4404 (316L), 2.4711 / UNS R30003, Stainless steel 1.4404 (316L) VIM/VAR Electropolished, Stainless steel 1.4404 (316L) VIM/VAR
Материал уплотнения	Electropolished per SEMI F19

Условия эксплуатации

Темп. окружающей среды	−10…+60 °C
Степень защиты IP	IP20
Вес	0.125 kg

Сертификаты и одобрения

Сертификаты

RoHSCEPressure Equipment DirectiveEMC Directive EN 61326

Дополнительные характеристики

Языки datasheet

EN, DE

Таблицы из даташита

Accuracy specifications

Non-linearity per BFSL per IEC 62828-1	≤ 0.1 %of span (≤ 0.15 %of span with measuring range 2 bar [29 psi])
Accuracy	→ See 'Max. measured error per IEC 62828-1'
Max. measured error per IEC 62828-1	≤ 0.3 %of span (≤ 0.6 %of span with measuring range 2 bar [29 psi])
Accuracy of the digital display	1 %of span ±1 digit
Zero point error	≤ 0.25 %of span
Zero point setting	±3.5 %of span
Signal noise	≤ ±0.06 %of span
Non-repeatability per IEC 62828-1	≤ 0.12 %of span
Influence of auxiliary power	0.1 %/10V
Total probable error per IEC 62828-2	0.5 %of span at -10 ...+60 °C [14 ...+140 °F]
Mean temperature coefficient
Zero point	≤ 0.1 %of span/10K
Span	≤ 0.15 %of span/10K
Long-term stability per IEC 62828-1	≤ 0.25 %of span/year (≤ 0.4 %of span/year with measuring range 2 bar [29 psi])
Resolution	0.01 %of span
Reference conditions	Per IEC 62828-1

bar

0…2	0 …160
0…4	0 …250
0…7	0 ... 400

bar
0…2	0…25
0…4	0…40
0…7	0 ... 60

bar
-1 ...+1	-1 ...+70
-1 ...+3	-1 ...+100
-1 ...+6	-1 ...+250

Смотреть все (17)

psi

0 ... 30	0 ... 2,000
0 ... 60	0 ... 3,000
0 ... 100	0 ... 5,000

psi 0 ... 30	0 ... 300
	0 ... 500
0 ... 60	0 ... 1,000
0 ... 100

psi
-14.5 …+14.5	-14.5 …+1,000
-14.5 …+30	-14.5 …+2,000
-14.5 …+45	-14.5 …+3,000

Further details on: measuring ranges
Units	■ bar ■ psi ■ MPa ■ Torr
Maximum working pressure	→ Corresponds to the upper measuring range value / measuring range full scale value → Any permanent operation above the maximum working pressure is not permis - sible.
Overpressure limit per IEC 62828-2	The overpressure limit is based on the measuring range. Depending on the select - ed process connection and the seal, restrictions in overpressure limit can result. 2 times (4 times for measuring range 2 bar [29 psi])
Vacuum resistance	Yes

Process connection

Model	Thread size	Max. measuring range
Model WUD-20-E	¼" swivel union nut	400 bar [5,000 psi]
¼" male swivel nut
¼" weld stub	20 bar [300 psi]
¼" T-connector
Model WUD-25-E	¼" fixed male nut	400 bar [5,000 psi]
¼" swivel union nut
¼" weld stub
Model WUD-26-E	MSMC-seal 1 ⅛"	50 bar [500 psi]
MSMW-seal 1 ⅛"
MSMC-seal 1 ½"
MSMW-seal 1 ½"

Output signal

Signal type
EtherCAT ®	SDP 5003.2080
Transmission rate	100 ms
Monitoring function	Sensor failure, electronics failure
Voltage supply
Auxiliary power	DC10…30V
Power consumption	<2W
Dynamic behaviour
Settling time per IEC 62828-1	< 300 ms
Switch-on time	< 30 sec.

Electrical connection

Connection type	■ Circular connector M8 x 1 (3-pin) per DIN EN 61076-2-104 ■ Ethernet CAT5e RJ45, shield connected
Pin assignment	→ See 'Pin assignment'
Ingress protection (IP code) per IEC 60529 1)	IP20
Reverse polarity protection	U+ vs. U-
Insulation voltage	DC 500V

Material

Material (wetted)
Process connection	Material	■ Stainless steel 1.4404 (316L) per SEMI F20 ■ Stainless steel 1.4404 (316L) VIM/VAR
	Surface treatment	Electropolished per SEMI F19
Thin-film sensor	2.4711 / UNS R30003
Material (in contact with the environment)
Case	Stainless steel 1.4301 (304)
Display head	PA12
Surface roughness Ra
Typical	≤ 0.13 µm (RA 5)
Maximum	≤ 0.18 µm (RA 7)

Operating conditions
Medium temperature limit	-20 ...+100 °C [-4 ...+212 °F]
Ambient temperature limit	-10 …+60 °C [14 ...140 °F]
Storage temperature limit	-10 …+60 °C [14 ...140 °F]
Humidity	0 ... 85 %relative humidity (non-condensing)
Helium leak test	< 1 x 10 -9 mbar l/sec (atm STD cc/sec) per SEMI F1
Vibration resistance per IEC 60068-2-6	7.5 mmor 2g for 1 ... 200 Hz / 5g for 200 ... 500 Hz
Shock resistance per IEC 60068-2-27	15g for a duration of 11 ms / 30g for a duration of 6 ms
Operating altitude	≤ 2,000 m[6.561 ft] above sea level
Ingress protection (IP code) per IEC 60529	→ See 'Electrical connection'
Pollution degree	2
Overvoltage category	I

Packaging and instrument labelling

Packaging	■ Double packaging per SEMI E49.6 ■ Individual packaging
Assembly and packaging location	Clean room class 5 per ISO 14644
Instrument labelling	WIKA product label, glued

Logo	Description	Region
	EU declaration of conformity	European Union
	EMCDirective EN 61326 emission (group 1, class B) and immunity (industrial environments)
	Pressure Equipment Directive
	RoHS directive

Logo	Description
-	MTTF: > 100 years
-	China RoHS directive
-	EtherCAT ® certificate of conformity

Description

Test report	■ 3 measuring points ■ Maximum total error ■ Helium leakage rate

Преобразователь сверхвысокой чистоты

Описание

Особенности

Вопросы и ответы

1 стандартных артикулов семейства WUD