Весь каталог AVIGANВесь каталогОфіційний партнер WIKA · з 2003+38 (067) 285-77-70info@avigan.com.uaUARUENHEAR
AI-помічник
Опишіть задачу — підберу 3 моделі WIKA за 30 секунд
WUD-20-E 1
WUD-20-E
Під замов.
WIKA · Вимірювання тиску · Сімейство WUD

Трансмітер надвисокої чистоти

Ультрависокочистий перетворювач із дисплеєм та EtherCAT для вимірювання тиску з високою точністю в напівпровідниковій промисловості
Діапазон
-14.5…5000 psi
Вихід
EtherCAT · EtherCAT®
Точність
0.3 % of span
Захист
IP20
RoHSCEPressure Equipment DirectiveEMC Directive EN 61326
Ціна
За запитом
Залежить від конфігурації
+38 (067) 285-77-70·info@avigan.com.uaViberTelegram

Опис

Модель WUD-2x-E — це особливо компактний перетворювач надвисокої чистоти для високоточних вимірювань тиску ультрачистих газів у напівпровідниковій промисловості. Це перший перетворювач, у якому використовується SDP 5003.2080, і він забезпечує максимальну надійність інвестицій. Завдяки мінімальному рівню шумів сигналу датчик забезпечує точні виміряні значення в довгостроковій перспективі. Завдяки активній температурній компенсації навіть за значних коливань температури. Виміряні значення можна переглядати на дисплеї.

Особливості

  • Найвища безпека процесу завдяки file over EtherCAT ®
  • Розширений спектр функцій
  • Масштабовані кількості та індивідуальні адаптації для OEM-застосувань
  • Максимальна безпека установки завдяки резервуванню кабелю

Питання та відповіді

Які діапазони вимірювання доступні для WUD-2X-E?

Доступні як надлишкові діапазони від 0 … 2 psi до 0 … 5000 psi (від 0 … 0,2 MPa до 0 … 160 bar / 0 … 400 bar), так і вакуумметричні діапазони, наприклад −14,5 … 14,5 psi або −1 … 1 bar, аж до −14,5 … 3000 psi та −1 … 250 bar.

Яка точність цього перетворювача?

Клас точності становить 0,3 % діапазону вимірювання відповідно до стандарту IEC 62828-1.

Які варіанти процесного приєднання передбачені?

Приєднання виконуються на ¼\": поворотна накидна гайка, накидна гайка, приварний штуцер, T-подібний роз'єм, фіксована накидна гайка, а також ущільнення MSMC та MSMW розміром 1 ⅛\" і 1 ½\".

З яких матеріалів виготовлені частини, що контактують із середовищем?

Нержавіюча сталь 1.4404 (316L), у тому числі в виконанні VIM/VAR та електрополірованому VIM/VAR, а також сплав 2.4711 / UNS R30003. Ущільнення електрополірується відповідно до SEMI F19.

У якому температурному діапазоні може працювати прилад?

Вимірюване середовище допускається за температури −20 … +100 °C, навколишнє середовище — за −10 … +60 °C.

Який ступінь захисту корпусу?

Ступінь захисту — IP20, тому прилад призначений для установки в захищеному від пилу та вологи просторі, наприклад в шафах керування.

Чи є вибухозахист або сертифікація SIL?

Ні, у наданих даних вибухозахисне виконання та рівень цілісності безпеки не зазначені. Прилад має сертифікати RoHS, CE, Pressure Equipment Directive та EMC Directive EN 61326.

Чим модель WUD-2X-E відрізняється від інших перетворювачів серії?

Це перший перетворювач серії WUD з інтерфейсом EtherCAT® та дисплеєм: він підтримує передачу файлів через file over EtherCAT®, резервування кабелю для максимальної безпеки установки та масштабовані OEM-адаптації.

Ідентифікація
МодельWUD-20-E
СімействоWUD
ПідтипTransducer
Вимірювальний діапазон
Діапазон тиску0…30 psi · 0…60 psi · 0…100 psi · 0…2 bar · 0…4 bar · 0…7 bar · 0…2000 psi · 0…3000 psi · 0…5000 psi · -1…1 bar · -1…3 bar · -1…6 bar · -14.5…14.5 psi · -14.5…30 psi · -14.5…45 psi · -14.5…1000 psi · -14.5…2000 psi · -14.5…3000 psi · 0…160 bar · 0…0.2 MPa · 0…0.4 MPa · 0…0.7 MPa · 0…250 bar · 0…400 bar · -1…70 bar · -1…100 bar · -1…250 bar · 0…300 psi · 0…500 psi · 0…1000 psi
Точність вимірювання
Клас точності0.3 % of span
Стандарт точностіIEC 62828-1
Процесні умови
Технологічне приєднання
¼" swivel union nut¼" male swivel nut¼" weld stub¼" T-connector¼" fixed male nutMSMC-seal 1 ⅛"MSMW-seal 1 ⅛"MSMC-seal 1 ½"MSMW-seal 1 ½"1/4" swivel union nut1/4" male swivel nut1/4" weld stub1/4" T-connector
Темп. процесу−20…+100 °C
Електричні характеристики
Вихідний сигналEtherCAT · EtherCAT®
ЖивленняDC 10 … 30 V
Електр. приєднанняCircular connector M8 x 1 (3-pin) per DIN EN 61076-2-104, Ethernet CAT5e RJ45, shield connected
Матеріали
Матеріал корпусуStainless steel 1.4301 (304)
Матеріал змочуваних частинStainless steel 1.4404 (316L), 2.4711 / UNS R30003, Stainless steel 1.4404 (316L) VIM/VAR Electropolished, Stainless steel 1.4404 (316L) VIM/VAR
Матеріал ущільненняElectropolished per SEMI F19
Умови експлуатації
Темп. навколишнього середовища−10…+60 °C
Ступінь захисту IPIP20
Вага0.125 kg
Сертифікати та схвалення
Сертифікати
RoHSCEPressure Equipment DirectiveEMC Directive EN 61326
Додаткові характеристики
Мови datasheetEN, DE
Таблиці з даташита
Accuracy specifications
Non-linearity per BFSL per IEC 62828-1≤ 0.1 %of span (≤ 0.15 %of span with measuring range 2 bar [29 psi])
Accuracy→ See 'Max. measured error per IEC 62828-1'
Max. measured error per IEC 62828-1≤ 0.3 %of span (≤ 0.6 %of span with measuring range 2 bar [29 psi])
Accuracy of the digital display1 %of span ±1 digit
Zero point error≤ 0.25 %of span
Zero point setting±3.5 %of span
Signal noise≤ ±0.06 %of span
Non-repeatability per IEC 62828-1≤ 0.12 %of span
Influence of auxiliary power0.1 %/10V
Total probable error per IEC 62828-20.5 %of span at -10 ...+60 °C [14 ...+140 °F]
Mean temperature coefficient
Zero point≤ 0.1 %of span/10K
Span≤ 0.15 %of span/10K
Long-term stability per IEC 62828-1≤ 0.25 %of span/year (≤ 0.4 %of span/year with measuring range 2 bar [29 psi])
Resolution0.01 %of span
Reference conditionsPer IEC 62828-1
bar
0…20 …160
0…40 …250
0…70 ... 400
bar
0…20…25
0…40…40
0…70 ... 60
bar
-1 ...+1-1 ...+70
-1 ...+3-1 ...+100
-1 ...+6-1 ...+250
Переглянути всі (17)
psi
0 ... 300 ... 2,000
0 ... 600 ... 3,000
0 ... 1000 ... 5,000
psi 0 ... 300 ... 300
0 ... 500
0 ... 600 ... 1,000
0 ... 100
psi
-14.5 …+14.5-14.5 …+1,000
-14.5 …+30-14.5 …+2,000
-14.5 …+45-14.5 …+3,000
Further details on: measuring ranges
Units■ bar ■ psi ■ MPa ■ Torr
Maximum working pressure→ Corresponds to the upper measuring range value / measuring range full scale value → Any permanent operation above the maximum working pressure is not permis - sible.
Overpressure limit per IEC 62828-2The overpressure limit is based on the measuring range. Depending on the select - ed process connection and the seal, restrictions in overpressure limit can result. 2 times (4 times for measuring range 2 bar [29 psi])
Vacuum resistanceYes
Process connection
ModelThread sizeMax. measuring range
Model WUD-20-E¼" swivel union nut400 bar [5,000 psi]
¼" male swivel nut
¼" weld stub20 bar [300 psi]
¼" T-connector
Model WUD-25-E¼" fixed male nut400 bar [5,000 psi]
¼" swivel union nut
¼" weld stub
Model WUD-26-EMSMC-seal 1 ⅛"50 bar [500 psi]
MSMW-seal 1 ⅛"
MSMC-seal 1 ½"
MSMW-seal 1 ½"
Output signal
Signal type
EtherCAT ®SDP 5003.2080
Transmission rate100 ms
Monitoring functionSensor failure, electronics failure
Voltage supply
Auxiliary powerDC10…30V
Power consumption<2W
Dynamic behaviour
Settling time per IEC 62828-1< 300 ms
Switch-on time< 30 sec.
Electrical connection
Connection type■ Circular connector M8 x 1 (3-pin) per DIN EN 61076-2-104 ■ Ethernet CAT5e RJ45, shield connected
Pin assignment→ See &#x27;Pin assignment&#x27;
Ingress protection (IP code) per IEC 60529 1)IP20
Reverse polarity protectionU+ vs. U-
Insulation voltageDC 500V
Material
Material (wetted)
Process connectionMaterial■ Stainless steel 1.4404 (316L) per SEMI F20 ■ Stainless steel 1.4404 (316L) VIM/VAR
Surface treatmentElectropolished per SEMI F19
Thin-film sensor2.4711 / UNS R30003
Material (in contact with the environment)
CaseStainless steel 1.4301 (304)
Display headPA12
Surface roughness Ra
Typical≤ 0.13 µm (RA 5)
Maximum≤ 0.18 µm (RA 7)
Operating conditions
Medium temperature limit-20 ...+100 °C [-4 ...+212 °F]
Ambient temperature limit-10 …+60 °C [14 ...140 °F]
Storage temperature limit-10 …+60 °C [14 ...140 °F]
Humidity0 ... 85 %relative humidity (non-condensing)
Helium leak test< 1 x 10 -9 mbar l/sec (atm STD cc/sec) per SEMI F1
Vibration resistance per IEC 60068-2-67.5 mmor 2g for 1 ... 200 Hz / 5g for 200 ... 500 Hz
Shock resistance per IEC 60068-2-2715g for a duration of 11 ms / 30g for a duration of 6 ms
Operating altitude≤ 2,000 m[6.561 ft] above sea level
Ingress protection (IP code) per IEC 60529→ See &#x27;Electrical connection&#x27;
Pollution degree2
Overvoltage categoryI
Packaging and instrument labelling
Packaging■ Double packaging per SEMI E49.6 ■ Individual packaging
Assembly and packaging locationClean room class 5 per ISO 14644
Instrument labellingWIKA product label, glued
LogoDescriptionRegion
EU declaration of conformityEuropean Union
EMCDirective EN 61326 emission (group 1, class B) and immunity (industrial environments)
Pressure Equipment Directive
RoHS directive
LogoDescription
-MTTF: > 100 years
-China RoHS directive
-EtherCAT ® certificate of conformity
Description
Test report■ 3 measuring points ■ Maximum total error ■ Helium leakage rate