Миниатюрный мембранный манометр
Описание
Миниатюрный диафрагменный манометр разработан для применений с высокой чистотой при ограниченных требованиях к монтажному пространству, например, для более компактных комплектов интегрированных газовых штанг и газовых боксов.
Номинальные размеры 1" и 1.3" идеально подходят для применений с газообразными, жидкими и коррозионно-активными средами с давлением до 160 psi.
Миниатюрный диафрагменный манометр проходит испытание на гелиевую герметичность, а внутренние элементы подвергаются электрополировке, чтобы оптимально соответствовать требованиям по чистоте.
Рис. слева: Модель 432.10, номинальный размер 1 " Рис. справа: Модель 432.15, номинальный размер 1.3 "
Благодаря таким характеристикам UHP миниатюрный диафрагменный манометр подходит для полупроводниковой отрасли и производства плоских панелей, для различных систем распределения газов, а также для применений с медицинскими газами.
Миниатюрный диафрагменный манометр соответствует стандартам SEMATECH и SEMI, чтобы оптимально обеспечить качество, которого требуют ваши применения.
Особенности
- Механический манометр с трубчатой пружиной
- Компактная конструкция с минимальным мёртвым объёмом, сниженным образованием и накоплением частиц
- Проверка гелием, скорость утечки ≤ 10 -9 мбар · л/с
- Электрополированные детали, контактирующие со средой, поверхности с Ra < 0.25 μm [Ra < 10 μin] для мембранного элемента и измерительной камеры
- Детали присоединения из электрополированной стали 316L с металлическим уплотнительным диском, приваренные к измерительной камере методом орбитальной сварки
Вопросы и ответы
Какое максимальное давление измеряет манометр?
До 160 psi.
Чем отличаются модели 432.10 и 432.15?
Номинальным размером: модель 432.10 имеет номинальный размер 1", модель 432.15 — 1.3".
Для каких сред подходит этот манометр?
Для газообразных и жидких, в том числе агрессивных и коррозионно-активных сред, в применениях с высокой чистотой, а также в агрессивной окружающей атмосфере.
Почему этот манометр подходит для высокочистых (UHP) применений?
Смачиваемые детали электрополированы до шероховатости Ra < 0,25 мкм [Ra < 10 μin], конструкция обеспечивает минимальный мёртвый объём и сниженное образование/удержание частиц, а компоненты выполнены из электрополированной стали 316L с орбитальной сваркой к измерительной камере.
Проверяется ли прибор на герметичность?
Да, манометр проходит испытание гелием со скоростью утечки ≤ 10⁻⁹ мбар · л/с.
Каким стандартам чистоты соответствует прибор?
Манометр соответствует стандартам SEMATECH и SEMI, что обеспечивает требуемое качество для высокочистых применений.
В каких отраслях применяется этот манометр?
В полупроводниковой отрасли и производстве плоских панелей, системах распределения газов, применениях с медицинскими газами, а также в hook-up применениях и компактных интегрированных газовых стойках и газовых боксах.
| Version | Diaphragm pressure gauge |
|---|---|
| Nominal size (NS) | 1.0" (25.4 mm) for model 432.10 1.3" (33 mm) for model 432.15 |
| Accuracy class | Grade C per ASME B40.1 |
| Scale range | ■ -30 inHg ...+60 psi ■ -30 inHg ...+130 psi ■ -30 inHg ...+160 psi ■ 0 ... 160 psi or all other equivalent vacuum or combined pressure and vacuum ranges |
| Pressure limitation | Steady: Full scale value Fluctuating: 0.9 x full scale value Short time: 1.3 x full scale value |
| Permissible temperature range | |
| Medium | ≤ 140 °F (≤ 60 °C) |
| Ingress protection | IP54 per IEC/EN 60529 |
| Process connection | 1/4 fixed male face seal 9/16-18 UNF |
| Pressure element | Inconel ® 718 |
| Dial | Aluminium, white Black lettering |
| Case | Stainless steel 316L |
| Pointer | Aluminium, black |
| Window | PMMA |
Не нашли ответа в документации? Инженер ответит в течение рабочего дня.
Спросить инженера →