مقياس ضغط صغير بغشاء (ديـافراجم)
الوصف
تم تطوير مقياس الحجاب الحاجز المصغّر لتطبيقات عالية النقاوة مع متطلبات مساحة محدودة، مثل التجميعات الأصغر لوحدات قضيب الغاز المتكاملة ومجموعات صندوق الغاز.
الأحجام الاسمية 1" و1.3" مناسبة تمامًا للتطبيقات التي تتضمن وسائط غازية وسائلة ومسببة للتآكل حتى 160 psi.
يخضع مقياس الحجاب الحاجز المصغّر لاختبار تسرب الهيليوم، كما تم تلميع الأجزاء الداخلية كيميائيًا (electropolished) لتلبية معايير النقاوة على نحو أمثل.
الشكل يسارًا: الطراز 432.10، الحجم الاسمي 1 " الشكل يمينًا: الطراز 432.15، الحجم الاسمي 1.3 "
بفضل خصائص UHP هذه، فإن مقياس الحجاب الحاجز المصغّر مناسب لصناعات أشباه الموصلات ولوحات العرض المسطحة، ولأنظمة توزيع الغازات المختلفة، وكذلك لتطبيقات الغازات الطبية.
يمتثل مقياس الحجاب الحاجز المصغّر لمعايير SEMATECH وSEMI لضمان جودة التطبيقات التي تتطلبها بشكل أمثل.
المزايا
- مقياس ضغط ميكانيكي بعنصر غشائي
- تصميم مدمج لحجم ميت أدنى وتقليل توليد الجسيمات واحتجازها
- مُختبر بتسرب الهيليوم، معدل تسرب ≤ 10 -9 mbar · l/s
- الأجزاء الملامسة للوسط مصقولة إلكتروليتياً، أسطح بـ Ra < 0.25 μm [Ra < 10 μin] لعنصر الغشاء وغرفة القياس
- مكونات الوصلة العملية من 316L مصقولة كهربائيًا مع قرص إحكام معدني، ملحومة مدارياً بحجرة القياس
الأسئلة والأجوبة
ما هو نطاق قياس الضغط لهذا المقياس؟
الطرزان 432.10 و432.15 مناسبان للوسائط الغازية والسائلة والمسببة للتآكل عند ضغوط تصل إلى 160 psi.
ما الفرق بين الطرازين 432.10 و432.15؟
الفرق في الحجم الاسمي: الطراز 432.10 بحجم اسمي 1"، والطراز 432.15 بحجم اسمي 1.3".
هل المقياس مناسب للتطبيقات عالية النقاء؟
نعم، فالأجزاء المبللة ملمعة كهروكيميائيًا بخشونة سطح Ra < 0.25 μm، ويتم اختبار التسرب بالهيليوم بمعدل ≤ 10⁻⁹ mbar · l/s، مما يجعله مناسبًا لصناعة أشباه الموصلات وأنظمة الغازات عالية النقاء.
من أي مادة مصنوعة وصلة عملية المقياس؟
مكونات وصلة العملية من الفولاذ 316L الملمع كهروكيميائيًا، مزودة بقرص إحكام معدني ملحوم مداريًا بغرفة القياس.
هل يقاوم التسرب؟
نعم، يخضع المقياس لاختبار تسرب الهيليوم بمعدل تسرب ≤ 10⁻⁹ mbar · l/s.
ما هي الوسائط المتوافقة مع هذا المقياس؟
الوسائط الغازية والسائلة، بما فيها الوسائط العدوانية والمسببة للتآكل، وذلك في تطبيقات عالية النقاء وحتى في الأجواء العدوانية.
لماذا يُختار هذا المقياس بدلًا من المقاييس الأكبر حجمًا؟
بفضل تصميمه المدمج الذي يوفر حجمًا ميتًا أدنى ويقلل من توليد الجزيئات واحتجازها، فهو مثالي للمساحات المحدودة مثل قضبان الغاز المدمجة وصناديق الغاز.
| Version | Diaphragm pressure gauge |
|---|---|
| Nominal size (NS) | 1.0" (25.4 mm) for model 432.10 1.3" (33 mm) for model 432.15 |
| Accuracy class | Grade C per ASME B40.1 |
| Scale range | ■ -30 inHg ...+60 psi ■ -30 inHg ...+130 psi ■ -30 inHg ...+160 psi ■ 0 ... 160 psi or all other equivalent vacuum or combined pressure and vacuum ranges |
| Pressure limitation | Steady: Full scale value Fluctuating: 0.9 x full scale value Short time: 1.3 x full scale value |
| Permissible temperature range | |
| Medium | ≤ 140 °F (≤ 60 °C) |
| Ingress protection | IP54 per IEC/EN 60529 |
| Process connection | 1/4 fixed male face seal 9/16-18 UNF |
| Pressure element | Inconel ® 718 |
| Dial | Aluminium, white Black lettering |
| Case | Stainless steel 316L |
| Pointer | Aluminium, black |
| Window | PMMA |
لم تجد الإجابة في الوثائق؟ سيرد المهندس خلال يوم عمل.
اسأل المهندس →