Мініатюрний мембранний манометр
Опис
Мініатюрний мембранний манометр розроблено для застосувань із високою чистотою за обмежених вимог до монтажного простору, таких як менші інтегровані вузли газового штекера та газового боксу.
Номінальні розміри 1" і 1.3" є ідеальними для застосувань із газоподібними, рідкими та корозійними середовищами до 160 psi.
Мініатюрний мембранний манометр перевіряється на гелієву течу, а внутрішні компоненти електрополіруються для оптимального дотримання вимог до чистоти.
Рис. ліворуч: Модель 432.10, номінальний розмір 1 " Рис. праворуч: Модель 432.15, номінальний розмір 1.3 "
З огляду на такі характеристики UHP, мініатюрний мембранний манометр придатний для напівпровідникової та виробництва плоских панелей, різних систем розподілу газу, а також для застосувань із медичними газами.
Мініатюрний мембранний манометр відповідає стандартам SEMATECH і SEMI, щоб оптимально забезпечити якість, якої вимагають ваші застосування.
Особливості
- Механічний манометр з мембранним вимірювальним елементом
- Компактна конструкція з мінімальним мертвим об'ємом, зниженим утворенням та затриманням частинок
- Перевірено гелієвим тестом, швидкість витоку ≤ 10 -9 мбар · л/с
- Деталі в контакті з середою з електрополіруванням, поверхні з Ra < 0.25 μm [Ra < 10 μin] для мембранного елемента та вимірювальної камери
- Компоненти процесного приєднання з електрополірованої сталі 316L з металевим ущільнювальним диском, з'єднані орбітальним зварюванням з вимірювальною камерою
Питання та відповіді
Який принцип вимірювання використано у моделях 432.10 та 432.15?
Це механічний манометр із діафрагменним вимірювальним елементом.
Чим відрізняються моделі 432.10 та 432.15 одна від одної?
Номінальним розміром: модель 432.10 має номінальний розмір 1", а модель 432.15 — 1,3".
Для яких тисків придатний цей манометр?
Він призначений для газоподібних, рідких та корозійних середовищ до 160 psi.
Чому цей манометр підходить для застосувань високої чистоти?
Деталї, що контактують із середовищем, електропольовані, з шорсткістю поверхні Ra < 0,25 μm для діафрагми та вимірювальної камери; компактна конструкція забезпечує мінімальний мертвий об'єм і знижене утворення та затримання частинок.
Яка герметичність приладу?
Манометр проходить гелієвий тест на герметичність зі швидкістю витікання ≤ 10⁻⁹ mbar · l/s.
З якого матеріалу виготовлено процесне приєднання?
Компоненти процесного приєднання виготовлені з електропольованої сталі 316L з металевою ущільнювальною шайбою, з'єднаної орбітальним зварюванням із вимірювальною камерою.
У яких галузях застосовується цей манометр?
У напівпровідниковій промисловості та виробництві плоских панелей, у системах розподілу газу, для медичних газів, а також у застосуваннях hook-up.
Яким стандартам відповідає мініатюрний мембранний манометр?
Він відповідає стандартам SEMATECH і SEMI.
| Version | Diaphragm pressure gauge |
|---|---|
| Nominal size (NS) | 1.0" (25.4 mm) for model 432.10 1.3" (33 mm) for model 432.15 |
| Accuracy class | Grade C per ASME B40.1 |
| Scale range | ■ -30 inHg ...+60 psi ■ -30 inHg ...+130 psi ■ -30 inHg ...+160 psi ■ 0 ... 160 psi or all other equivalent vacuum or combined pressure and vacuum ranges |
| Pressure limitation | Steady: Full scale value Fluctuating: 0.9 x full scale value Short time: 1.3 x full scale value |
| Permissible temperature range | |
| Medium | ≤ 140 °F (≤ 60 °C) |
| Ingress protection | IP54 per IEC/EN 60529 |
| Process connection | 1/4 fixed male face seal 9/16-18 UNF |
| Pressure element | Inconel ® 718 |
| Dial | Aluminium, white Black lettering |
| Case | Stainless steel 316L |
| Pointer | Aluminium, black |
| Window | PMMA |
Не знайшли відповіді у документації? Інженер відповість впродовж робочого дня.
Запитати інженера →