Преобразователь сверхвысокой чистоты
Описание
Преобразователи серии WUD-2x предназначены для измерения давления сверхчистых газов с высокой точностью 0,15 % RSS и вакуум-референцированным принципом измерения. Приборы оснащаются интегрированным дисплеем и опциональными контактами переключателя (до 2), а также активной температурной компенсацией. Они выбираются там, где требуется точный контроль давления ультрачистых сред при минимальном шуме сигнала — в первую очередь в системах газоснабжения полупроводникового производства.
Особенности
- Высокоточное измерение давления 0,15 % RSS
- Отличная длительная стабильность
- Подавление шума сигнала и экранирование
- Измерение давления относительно вакуума
- Активная температурная компенсация
Вопросы и ответы
Какой диапазон давления охватывает серия WUD-2x?
Доступны диапазоны от -1 … +1 bar (вакуум) до 0 … 360 bar в единицах bar, а также от 0 … 30 psi до 0 … 5000 psi и комбинированные диапазоны 2 … 360 bar / 30 … 5000 psi.
Какова точность преобразователя?
Точность составляет 0,15 % RSS по стандарту IEC 61298-2.
Есть ли встроенный дисплей?
Да, серия WUD-2x имеет интегрированный дисплей, а также опциональные контакты переключателя — до 2 коммутируемых контактов (нормально открытые или нормально закрытые).
Какое электрическое питание требуется прибору?
Питание постоянного тока DC 10 ... 30 V.
Какие выходные сигналы доступны?
Аналоговые сигналы 4-20 mA, 0-5 V и 0-10 V.
Для каких сред подходит прибор и из каких материалов изготовлены контактирующие части?
Прибор предназначен для сверхчистых газов; контактирующие части выполнены из нержавеющей стали 316L (AISI 316L) и сплава 2.4711 / UNS R30003.
Подходит ли WUD-2x для взрывоопасных зон?
Да, приборы имеют сертификаты CE, RoHS и FM, включая FM APPROVED для взрывоопасных зон.
Чем WUD-2x отличается от обычных датчиков давления?
Серия сочетает высокую точность 0,15 % RSS, вакуум-референцированное измерение, активную температурную компенсацию, подавление шума сигнала и защиту IP67 со встроенным дисплеем и опциональными переключающими контактами — что важно для ультрачистых газовых линий полупроводниковой промышленности.
| Модель | WUD-20 |
| Серия | WUD-2x |
| Подтип | Transducer |
| Диапазон давления | 0…2 bar · 0…60 bar · -1…1 bar · -1…250 bar · 0…4 bar · 0…7 bar · 0…17 bar · 0…25 bar · 0…36 bar · 0…70 bar · 0…100 bar · 0…145 bar · 0…225 bar · 0…360 bar · 0…11 bar · 0…30 psi · 0…60 psi · 0…100 psi · 0…160 psi · 0…250 psi · 0…350 psi · 0…500 psi · 0…1000 psi · 0…1500 psi · 0…2000 psi · 0…3000 psi · 0…5000 psi |
| Класс точности | 0.15 % RSS |
| Стандарт точности | IEC 61298-2 |
| Технологическое присоединение | 1/4" weld stub1/4" pressure screw, rotatable1/4" T-connector, weld stub1/4" union nut, rotatableMSM C 1 1/2"MSM C 1 1/8"1/4" pressure screw, fixed1/4" pressure screw, fixed, high flow throughW 21.8-14VCR1/4" NPT |
| Темп. процесса | −20…+100 °C |
| Выходной сигнал | 4-20mA · 0-5V · 0-10V |
| Питание | DC 10 ... 30 V |
| Электр. соединение | Bayonet connector 4-pin, Circular connector M12 x 1, 15-pin Sub-D HD connector, 9-pin Sub-D connector, Flying leads |
| Функция переключения | Normally open, normally closed, on, off |
| Переключающие контакты | 2 |
| Материал корпуса | 304 SS, AISI 316L, PC/PBT, TPU, PC |
| Материал смачиваемых частей | 316L stainless steel, 2.4711 / UNS R30003, AISI 316L |
| Материал уплотнения | PC/PBT, TPE, PC, Metal seal |
| Темп. окружающей среды | −10…+60 °C |
| Степень защиты IP | IP67 |
| Вес | 0.2 kg |
| Сертификаты | CERoHSFM |
| Взрывозащита | FM Hazardous areasFM APPROVED for Hazardous areas |
| Языки datasheet | EN, DE |
| Specifications | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| WUD-20, WUD-25, WUD-26 | WUD-20, WUD-25 | |||||||||||
| Measuring range | psi | 30 | 60 | 100 | 250 | 350 | 500 | 1,000 | 1,500 | 2,000 | 3,000 | 5,000 |
| bar | 2 | 4 | 7 | 17 | 25 | 36 | 70 | 100 | 145 | 225 | 360 | |
| Overload safety | psi | 120 | 120 | 210 | 500 | 750 | 1,100 | 2,100 | 3,000 | 4,200 | 6,600 | 10,000 |
| Burst pressure | psi | 1,800 | 1,800 | 2,200 | 4,800 | 6,200 | 7,400 | 8,000 | 10,500 | 10,500 | 10,500 | 10,500 |
| Other measuring ranges and units (e. g.MPa, kg/cm²) on request Absolute pressure: 0 ... 2 bar to 0 ... 60 bar Vacuum pressure: -1 ... 1 bar to -1 ... 250 bar | ||||||||||||
| Measuring principle | Metal thin-film sensor | |||||||||||
| Materials | ||||||||||||
| Wetted | Process connection: 316L stainless steel, according to SEMI F20 (option: 316L VIM/VAR) | |||||||||||
| Case | Lower body: 304 SS Plastic components:PC/PBT Keyboard:TPE Display window:PC | |||||||||||
| Inboard helium leak test | < 1 x 10 -9 mbar l/sec (atm STD cc/sec) per SEMI F1 | |||||||||||
| Surface finish | Electropolished, typical Ra ≤ 0.13 µm (RA 5);max.Ra ≤ 0.18 µm (RA 7), per SEMI F19 | |||||||||||
| Dead volume | WUD-20 < 1.5 cm³ WUD-25 < 1 cm³ WUD-26 < 1 cm³ | |||||||||||
| Permissible medium | Special gas, vapour, liquid | |||||||||||
| Power supply U+ | DC 10 ...30V (with output signal 4 ... 20 mAand DC 0 ... 5 V) DC 14 ...30V (with output signal DC 0 ... 10 V) | |||||||||||
| Output signal and maximum load | 4 ... 20 mA, 3-wire, R A ≤ (U+ - 10 V) / 0.02 A DC 0 ... 5 V, 3-wire, R A > 5 kΩ DC 0 ... 10 V, 3-wire, R A > 10 kΩ | |||||||||||
| Power P max | 1W | |||||||||||
| Current consumption | max.50mA | |||||||||||
| Total current consumption | max. 250 mA(including switching current) | |||||||||||
| Adjustability of zero point | -3.5 ... +3.5 %of span (via potentiometer) current output signal -2.0 ... +3.5 %of span (via potentiometer) current output signal | |||||||||||
| Signal response (10 ... 90 %) | ≤ 300 ms | |||||||||||
| Switch points | Individually adjustable via external control keys | |||||||||||
| Type | Transistor switching output NPN | |||||||||||
| Quantity | 1 or 2 | |||||||||||
| Function | Normally open, normally closed, on, off | |||||||||||
| Switching current | SP1 / SP2:100mA | |||||||||||
| Accuracy | ≤ 0.5 %of span | |||||||||||
| Display | ||||||||||||
| Version | 7-segment LED, red, 4-digit, height 8 mm, 270° rotatable | |||||||||||
| Accuracy | ≤ 1.0 %of span ±1 digit | |||||||||||
| Update | 0.2 s / 0.5 s / 1 s / 5 s / 10 s / 60 s (adjustable) | |||||||||||
| Accuracy | ≤ 0.15 %of span (≤ 0.4 with measuring ranges ≤ 2 bar) RSS (root sum squares) ≤ 0.3 1) (≤ 0.6 1) with measuring ranges ≤ 2 bar) | |||||||||||
| Non-linearity | ≤ 0.1 %of span (≤ 0.15 with measuring ranges ≤ 2 bar) BFSL per IEC 61298-2 | |||||||||||
| Hysteresis | ≤ 0.14 %of span | |||||||||||
| Stability per year | ≤ 0.25 %of span (typical) at reference conditions (≤ 0.4 with measuring ranges ≤ 2 bar) |
| Permissible temperature | |
|---|---|
| Medium | -20 ...+100 °C [-4 ...+212 °F] |
| Ambient | -10 ...+60 °C [14 ...+140 °F] |
| Storage | -10 ...+60 °C [14 ...+140 °F] |
| Rated temperature range (medium) | -20 ...+80 °C [-4 ...+176 °F] (actively compensated) |
| Temperature coefficients in rated temperature range (actively compensated) | |
| MeanTC of zero | ≤ 0.10 %of span/10 K |
| MeanTC of span | ≤ 0.15 %of span/10 K |
| Assembly and packaging area | Cleanroom class 5 per ISO 14644 |
| Packaging | Double bagging per SEMI E49.6 |
| Shock resistance | 15 g (11 ms), 30 g (6 ms) per IEC 60068-2-27 |
| Vibration resistance | 7.5 mmor 2 g (1 ... 200 Hz) / 5 g (200 ... 500 Hz) per IEC 60068-2-6 |
| Electrical safety | S+ vs. U- |
| Reverse polarity protection | U+ vs. U- |
| Weight | approx. 0.2 kg |
| Logo | Description | Country |
|---|---|---|
| EU declaration of conformity ■ EMCdirective EN 61326 emission (group 1, class B) and interference immunity (industrial application) ■ Pressure equipment directive ■ RoHS directive | European Union | |
| FM Hazardous areas | USA |
Не нашли ответа в документации? Инженер ответит в течение рабочего дня.
Спросить инженера →