Трансмітер надвисокої чистоти
Опис
Перетворювачі тиску серії WUD-2x призначені для вимірювання тиску ультрачистих газів із високою точністю 0,15 % RSS та аналоговим вихідним сигналом. Прилад має інтегрований дисплей і опційно до двох контактів перемикача. Серія обирається там, де потрібне надійне вимірювання надчистих середовищ, зокрема в напівпровідниковій промисловості.
Особливості
- Високоточне вимірювання тиску 0,15 % RSS
- Відмінна довгострокова стабільність
- Придушення шумів сигналу та екранування
- Вимірювання тиску з відліком від вакууму
- Активна температурна компенсація
Питання та відповіді
Який діапазон вимірювання тиску доступний для цієї моделі?
Від -1 … 250 bar до 0 … 360 bar у барах, а також діапазони 0 … 30 psi до 0 … 5000 psi у psi, включно з комбінованими діапазонами 2 … 360 bar і 30 … 5000 psi.
Наскільки точним є перетворювач?
Точність становить 0,15 % RSS за стандартом IEC 61298-2, з активною температурною компенсацією та відмінною довгостроковою стабільністю.
Які варіанти приєднання до процесу передбачені?
Передбачені, серед іншого: 1/4" приварний штуцер, 1/4" натискний гвинт (обертовий або фіксований), 1/4" накидна гайка, MSM C 1 1/2", MSM C 1 1/8", W 21.8-14, VCR та 1/4" NPT.
З якими середовищами сумісний перетворювач?
Прилад призначений для ультрачистих газів у системах подачі газів напівпровідникового виробництва; частини, що контактують із середовищем, виконані з нержавіючої сталі 316L або сплаву 2.4711 / UNS R30003, з металевим ущільненням як опція.
У яких межах температур може працювати прилад?
Температура навколишнього середовища: -10 … +60 °C; температура середовища: -20 … +100 °C.
Який ступінь захисту забезпечує корпус?
Ступінь захисту IP67.
Чи має прилад схвалення для вибухонебезпечних зон?
Так, перетворювач є FM APPROVED для вибухонебезпечних зон (FM Hazardous areas); також є сертифікати CE та RoHS.
Чим відрізняється серія WUD-2x від сусідніх моделей WIKA?
Серія поєднує концепцію перетворювача надвисокої чистоти з аналоговими вихідними сигналами, інтегрованим дисплеєм та опційними двома контактами перемикача (нормально відкритий/нормально закритий), що робить її орієнтованою саме на ультрачисті застосування.
| Модель | WUD-20 |
| Сімейство | WUD-2x |
| Підтип | Transducer |
| Діапазон тиску | 0…2 bar · 0…60 bar · -1…1 bar · -1…250 bar · 0…4 bar · 0…7 bar · 0…17 bar · 0…25 bar · 0…36 bar · 0…70 bar · 0…100 bar · 0…145 bar · 0…225 bar · 0…360 bar · 0…11 bar · 0…30 psi · 0…60 psi · 0…100 psi · 0…160 psi · 0…250 psi · 0…350 psi · 0…500 psi · 0…1000 psi · 0…1500 psi · 0…2000 psi · 0…3000 psi · 0…5000 psi |
| Клас точності | 0.15 % RSS |
| Стандарт точності | IEC 61298-2 |
| Технологічне приєднання | 1/4" weld stub1/4" pressure screw, rotatable1/4" T-connector, weld stub1/4" union nut, rotatableMSM C 1 1/2"MSM C 1 1/8"1/4" pressure screw, fixed1/4" pressure screw, fixed, high flow throughW 21.8-14VCR1/4" NPT |
| Темп. процесу | −20…+100 °C |
| Вихідний сигнал | 4-20mA · 0-5V · 0-10V |
| Живлення | DC 10 ... 30 V |
| Електр. приєднання | Bayonet connector 4-pin, Circular connector M12 x 1, 15-pin Sub-D HD connector, 9-pin Sub-D connector, Flying leads |
| Функція перемикання | Normally open, normally closed, on, off |
| Перемикальні контакти | 2 |
| Матеріал корпусу | 304 SS, AISI 316L, PC/PBT, TPU, PC |
| Матеріал змочуваних частин | 316L stainless steel, 2.4711 / UNS R30003, AISI 316L |
| Матеріал ущільнення | PC/PBT, TPE, PC, Metal seal |
| Темп. навколишнього середовища | −10…+60 °C |
| Ступінь захисту IP | IP67 |
| Вага | 0.2 kg |
| Сертифікати | CERoHSFM |
| Вибухозахист | FM Hazardous areasFM APPROVED for Hazardous areas |
| Мови datasheet | EN, DE |
| Specifications | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| WUD-20, WUD-25, WUD-26 | WUD-20, WUD-25 | |||||||||||
| Measuring range | psi | 30 | 60 | 100 | 250 | 350 | 500 | 1,000 | 1,500 | 2,000 | 3,000 | 5,000 |
| bar | 2 | 4 | 7 | 17 | 25 | 36 | 70 | 100 | 145 | 225 | 360 | |
| Overload safety | psi | 120 | 120 | 210 | 500 | 750 | 1,100 | 2,100 | 3,000 | 4,200 | 6,600 | 10,000 |
| Burst pressure | psi | 1,800 | 1,800 | 2,200 | 4,800 | 6,200 | 7,400 | 8,000 | 10,500 | 10,500 | 10,500 | 10,500 |
| Other measuring ranges and units (e. g.MPa, kg/cm²) on request Absolute pressure: 0 ... 2 bar to 0 ... 60 bar Vacuum pressure: -1 ... 1 bar to -1 ... 250 bar | ||||||||||||
| Measuring principle | Metal thin-film sensor | |||||||||||
| Materials | ||||||||||||
| Wetted | Process connection: 316L stainless steel, according to SEMI F20 (option: 316L VIM/VAR) | |||||||||||
| Case | Lower body: 304 SS Plastic components:PC/PBT Keyboard:TPE Display window:PC | |||||||||||
| Inboard helium leak test | < 1 x 10 -9 mbar l/sec (atm STD cc/sec) per SEMI F1 | |||||||||||
| Surface finish | Electropolished, typical Ra ≤ 0.13 µm (RA 5);max.Ra ≤ 0.18 µm (RA 7), per SEMI F19 | |||||||||||
| Dead volume | WUD-20 < 1.5 cm³ WUD-25 < 1 cm³ WUD-26 < 1 cm³ | |||||||||||
| Permissible medium | Special gas, vapour, liquid | |||||||||||
| Power supply U+ | DC 10 ...30V (with output signal 4 ... 20 mAand DC 0 ... 5 V) DC 14 ...30V (with output signal DC 0 ... 10 V) | |||||||||||
| Output signal and maximum load | 4 ... 20 mA, 3-wire, R A ≤ (U+ - 10 V) / 0.02 A DC 0 ... 5 V, 3-wire, R A > 5 kΩ DC 0 ... 10 V, 3-wire, R A > 10 kΩ | |||||||||||
| Power P max | 1W | |||||||||||
| Current consumption | max.50mA | |||||||||||
| Total current consumption | max. 250 mA(including switching current) | |||||||||||
| Adjustability of zero point | -3.5 ... +3.5 %of span (via potentiometer) current output signal -2.0 ... +3.5 %of span (via potentiometer) current output signal | |||||||||||
| Signal response (10 ... 90 %) | ≤ 300 ms | |||||||||||
| Switch points | Individually adjustable via external control keys | |||||||||||
| Type | Transistor switching output NPN | |||||||||||
| Quantity | 1 or 2 | |||||||||||
| Function | Normally open, normally closed, on, off | |||||||||||
| Switching current | SP1 / SP2:100mA | |||||||||||
| Accuracy | ≤ 0.5 %of span | |||||||||||
| Display | ||||||||||||
| Version | 7-segment LED, red, 4-digit, height 8 mm, 270° rotatable | |||||||||||
| Accuracy | ≤ 1.0 %of span ±1 digit | |||||||||||
| Update | 0.2 s / 0.5 s / 1 s / 5 s / 10 s / 60 s (adjustable) | |||||||||||
| Accuracy | ≤ 0.15 %of span (≤ 0.4 with measuring ranges ≤ 2 bar) RSS (root sum squares) ≤ 0.3 1) (≤ 0.6 1) with measuring ranges ≤ 2 bar) | |||||||||||
| Non-linearity | ≤ 0.1 %of span (≤ 0.15 with measuring ranges ≤ 2 bar) BFSL per IEC 61298-2 | |||||||||||
| Hysteresis | ≤ 0.14 %of span | |||||||||||
| Stability per year | ≤ 0.25 %of span (typical) at reference conditions (≤ 0.4 with measuring ranges ≤ 2 bar) |
| Permissible temperature | |
|---|---|
| Medium | -20 ...+100 °C [-4 ...+212 °F] |
| Ambient | -10 ...+60 °C [14 ...+140 °F] |
| Storage | -10 ...+60 °C [14 ...+140 °F] |
| Rated temperature range (medium) | -20 ...+80 °C [-4 ...+176 °F] (actively compensated) |
| Temperature coefficients in rated temperature range (actively compensated) | |
| MeanTC of zero | ≤ 0.10 %of span/10 K |
| MeanTC of span | ≤ 0.15 %of span/10 K |
| Assembly and packaging area | Cleanroom class 5 per ISO 14644 |
| Packaging | Double bagging per SEMI E49.6 |
| Shock resistance | 15 g (11 ms), 30 g (6 ms) per IEC 60068-2-27 |
| Vibration resistance | 7.5 mmor 2 g (1 ... 200 Hz) / 5 g (200 ... 500 Hz) per IEC 60068-2-6 |
| Electrical safety | S+ vs. U- |
| Reverse polarity protection | U+ vs. U- |
| Weight | approx. 0.2 kg |
| Logo | Description | Country |
|---|---|---|
| EU declaration of conformity ■ EMCdirective EN 61326 emission (group 1, class B) and interference immunity (industrial application) ■ Pressure equipment directive ■ RoHS directive | European Union | |
| FM Hazardous areas | USA |
Не знайшли відповіді у документації? Інженер відповість впродовж робочого дня.
Запитати інженера →