محول (ترانسمتر) فائقة النقاء
الوصف
محول ضغط فائق النقاء من سلسلة WUD-2x مع شاشة عرض مدمجة وجهات تبديل اختيارية، يعمل بإشارات خرج تماثلية. يقيس ضغط الغازات فائقة النقاء بدقة عالية تصل إلى 0.15 % RSS وفق المعيار IEC 61298-2. يُختار هذا المحول لتطبيقات صناعة أشباه الموصلات وشاشات العرض المسطحة والطاقة الكهروضوئية حيث تكون نقاوة الوسط والاستقرار طويل الأمد متطلبين أساسيين.
المزايا
- قياس ضغط عالي الدقة 0.15 % RSS
- ثبات ممتاز على المدى الطويل
- إلغاء ضوضاء الإشارة والتدرع
- قياس الضغط بمرجعية الفراغ
- تعويض حراري نشط
الأسئلة والأجوبة
ما هي نطاقات قياس الضغط المتوفرة لهذا المحول؟
يتوفر المحول بنطاقات من 0 … 2 bar حتى 0 … 360 bar، بالإضافة إلى نطاقات سالبة مثل -1 … 1 bar و-1 … 250 bar ونطاق 2 … 360 bar. كما تتوفر نسخ بوحدات psi من 0 … 30 psi حتى 0 … 5000 psi.
ما هي دقة القياس؟
الدقة 0.15 % RSS وفقًا لمعيار الاختبار IEC 61298-2، مع استقرار ممتاز على المدى الطويل وتعويض حراري نشط.
ما هي إشارات الخرج وجهد التغذية المدعومة؟
إشارات الخرج هي 4-20 mA و0-5 V و0-10 V، ويتم تغذية الجهاز بجهد DC 10 ... 30 V.
هل يناسب هذا المحول الغازات فائقة النقاء؟
نعم، صُمم خصيصًا لإمداد الغازات فائقة النقاء في أنظمة إنتاج أشباه الموصلات، وتتكون الأجزاء الملامسة للوسط من فولاذ مقاوم للصدأ 316L أو 2.4711 / UNS R30003، مع خيار وصلة VCR.
ما هي درجات الحرارة المسموح بها؟
يعمل المحول في نطاق درجة حرارة بيئة محيطة من -10 … +60 °C، ودرجة حرارة وسط من -20 … +100 °C.
ما هي درجة الحماية من الغبار والماء؟
درجة الحماية IP67.
هل يحمل المحول شهادات للمناطق الخطرة؟
نعم، المحول معتمد FM APPROVED للمناطق الخطرة (FM Hazardous areas)، بالإضافة إلى شهادات CE وRoHS.
ما الذي يميز هذه السلسلة عن غيرها؟
تجمع سلسلة WUD-2x بين مفاهيم محولات حديثة وإشارات خرج تماثلية، مع شاشة عرض مدمجة وخيار وجهتي تبديل (حتى 2 جهة تبديل)، وقياس بمرجع تفريغ وإلغاء ضوضاء الإشارة — وهو ما يجعلها مناسبة للتطبيقات فائقة النقاء في صناعة أشباه الموصلات. ---
| الطراز | WUD-20 |
| السلسلة | WUD-2x |
| النوع الفرعي | Transducer |
| نطاق الضغط | 0…2 bar · 0…60 bar · -1…1 bar · -1…250 bar · 0…4 bar · 0…7 bar · 0…17 bar · 0…25 bar · 0…36 bar · 0…70 bar · 0…100 bar · 0…145 bar · 0…225 bar · 0…360 bar · 0…11 bar · 0…30 psi · 0…60 psi · 0…100 psi · 0…160 psi · 0…250 psi · 0…350 psi · 0…500 psi · 0…1000 psi · 0…1500 psi · 0…2000 psi · 0…3000 psi · 0…5000 psi |
| فئة الدقة | 0.15 % RSS |
| معيار الدقة | IEC 61298-2 |
| وصلة العملية | 1/4" weld stub1/4" pressure screw, rotatable1/4" T-connector, weld stub1/4" union nut, rotatableMSM C 1 1/2"MSM C 1 1/8"1/4" pressure screw, fixed1/4" pressure screw, fixed, high flow throughW 21.8-14VCR1/4" NPT |
| درجة حرارة العملية | −20…+100 °C |
| إشارة الخرج | 4-20mA · 0-5V · 0-10V |
| التغذية | DC 10 ... 30 V |
| وصلة كهربائية | Bayonet connector 4-pin, Circular connector M12 x 1, 15-pin Sub-D HD connector, 9-pin Sub-D connector, Flying leads |
| وظيفة التبديل | Normally open, normally closed, on, off |
| نقاط التبديل | 2 |
| مادة العلبة | 304 SS, AISI 316L, PC/PBT, TPU, PC |
| مادة الأجزاء الملامسة | 316L stainless steel, 2.4711 / UNS R30003, AISI 316L |
| مادة الإحكام | PC/PBT, TPE, PC, Metal seal |
| حرارة المحيط | −10…+60 °C |
| تصنيف IP | IP67 |
| الوزن | 0.2 kg |
| الشهادات | CERoHSFM |
| حماية الانفجار | FM Hazardous areasFM APPROVED for Hazardous areas |
| لغات ورقة البيانات | EN, DE |
| Specifications | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| WUD-20, WUD-25, WUD-26 | WUD-20, WUD-25 | |||||||||||
| Measuring range | psi | 30 | 60 | 100 | 250 | 350 | 500 | 1,000 | 1,500 | 2,000 | 3,000 | 5,000 |
| bar | 2 | 4 | 7 | 17 | 25 | 36 | 70 | 100 | 145 | 225 | 360 | |
| Overload safety | psi | 120 | 120 | 210 | 500 | 750 | 1,100 | 2,100 | 3,000 | 4,200 | 6,600 | 10,000 |
| Burst pressure | psi | 1,800 | 1,800 | 2,200 | 4,800 | 6,200 | 7,400 | 8,000 | 10,500 | 10,500 | 10,500 | 10,500 |
| Other measuring ranges and units (e. g.MPa, kg/cm²) on request Absolute pressure: 0 ... 2 bar to 0 ... 60 bar Vacuum pressure: -1 ... 1 bar to -1 ... 250 bar | ||||||||||||
| Measuring principle | Metal thin-film sensor | |||||||||||
| Materials | ||||||||||||
| Wetted | Process connection: 316L stainless steel, according to SEMI F20 (option: 316L VIM/VAR) | |||||||||||
| Case | Lower body: 304 SS Plastic components:PC/PBT Keyboard:TPE Display window:PC | |||||||||||
| Inboard helium leak test | < 1 x 10 -9 mbar l/sec (atm STD cc/sec) per SEMI F1 | |||||||||||
| Surface finish | Electropolished, typical Ra ≤ 0.13 µm (RA 5);max.Ra ≤ 0.18 µm (RA 7), per SEMI F19 | |||||||||||
| Dead volume | WUD-20 < 1.5 cm³ WUD-25 < 1 cm³ WUD-26 < 1 cm³ | |||||||||||
| Permissible medium | Special gas, vapour, liquid | |||||||||||
| Power supply U+ | DC 10 ...30V (with output signal 4 ... 20 mAand DC 0 ... 5 V) DC 14 ...30V (with output signal DC 0 ... 10 V) | |||||||||||
| Output signal and maximum load | 4 ... 20 mA, 3-wire, R A ≤ (U+ - 10 V) / 0.02 A DC 0 ... 5 V, 3-wire, R A > 5 kΩ DC 0 ... 10 V, 3-wire, R A > 10 kΩ | |||||||||||
| Power P max | 1W | |||||||||||
| Current consumption | max.50mA | |||||||||||
| Total current consumption | max. 250 mA(including switching current) | |||||||||||
| Adjustability of zero point | -3.5 ... +3.5 %of span (via potentiometer) current output signal -2.0 ... +3.5 %of span (via potentiometer) current output signal | |||||||||||
| Signal response (10 ... 90 %) | ≤ 300 ms | |||||||||||
| Switch points | Individually adjustable via external control keys | |||||||||||
| Type | Transistor switching output NPN | |||||||||||
| Quantity | 1 or 2 | |||||||||||
| Function | Normally open, normally closed, on, off | |||||||||||
| Switching current | SP1 / SP2:100mA | |||||||||||
| Accuracy | ≤ 0.5 %of span | |||||||||||
| Display | ||||||||||||
| Version | 7-segment LED, red, 4-digit, height 8 mm, 270° rotatable | |||||||||||
| Accuracy | ≤ 1.0 %of span ±1 digit | |||||||||||
| Update | 0.2 s / 0.5 s / 1 s / 5 s / 10 s / 60 s (adjustable) | |||||||||||
| Accuracy | ≤ 0.15 %of span (≤ 0.4 with measuring ranges ≤ 2 bar) RSS (root sum squares) ≤ 0.3 1) (≤ 0.6 1) with measuring ranges ≤ 2 bar) | |||||||||||
| Non-linearity | ≤ 0.1 %of span (≤ 0.15 with measuring ranges ≤ 2 bar) BFSL per IEC 61298-2 | |||||||||||
| Hysteresis | ≤ 0.14 %of span | |||||||||||
| Stability per year | ≤ 0.25 %of span (typical) at reference conditions (≤ 0.4 with measuring ranges ≤ 2 bar) |
| Permissible temperature | |
|---|---|
| Medium | -20 ...+100 °C [-4 ...+212 °F] |
| Ambient | -10 ...+60 °C [14 ...+140 °F] |
| Storage | -10 ...+60 °C [14 ...+140 °F] |
| Rated temperature range (medium) | -20 ...+80 °C [-4 ...+176 °F] (actively compensated) |
| Temperature coefficients in rated temperature range (actively compensated) | |
| MeanTC of zero | ≤ 0.10 %of span/10 K |
| MeanTC of span | ≤ 0.15 %of span/10 K |
| Assembly and packaging area | Cleanroom class 5 per ISO 14644 |
| Packaging | Double bagging per SEMI E49.6 |
| Shock resistance | 15 g (11 ms), 30 g (6 ms) per IEC 60068-2-27 |
| Vibration resistance | 7.5 mmor 2 g (1 ... 200 Hz) / 5 g (200 ... 500 Hz) per IEC 60068-2-6 |
| Electrical safety | S+ vs. U- |
| Reverse polarity protection | U+ vs. U- |
| Weight | approx. 0.2 kg |
| Logo | Description | Country |
|---|---|---|
| EU declaration of conformity ■ EMCdirective EN 61326 emission (group 1, class B) and interference immunity (industrial application) ■ Pressure equipment directive ■ RoHS directive | European Union | |
| FM Hazardous areas | USA |
لم تجد الإجابة في الوثائق؟ سيرد المهندس خلال يوم عمل.
اسأل المهندس →