محول (ترانسمتر) فائقة النقاوة
الوصف
تُعدّ الطرازات WUC-10 وWUC-15 وWUC-16 مبدّلات/محولات ضغط فائقة النقاوة فائقة الاكتناز بشكل خاص لقياس الضغط للغازات فائقة النقاوة في صناعة أشباه الموصلات، ولا سيما في المناطق الخطرة. تتكوّن الأجزاء الملامِسة للوسط من فولاذ مقاوم للصدأ 316L مُصقول كيميائياً كهربائياً (electropolished) ومتوافق مع SEMI F20، ومن حساس غشاء رقيق خاص من النوع 2.4711/UNS R30003. تتميّز المحولات بثبات ممتاز للتوافق الكهرومغناطيسي (EMC) وبمجموعة متنوعة من التوصيلات الكهربائية وتوصيلات العملية. يوفّر مُحوّل/مقاومة الضبط الجانبية ذات الوصول السهل إمكانية ضبط نقطة الصفر بشكل مريح. يتم فحص كل محول ضغط على حدة للتأكد من إحكامه ضد التسرب ودقته.
المزايا
- توافر آمن وسريع
- مطوَّر للتطبيقات في المناطق الخطرة
- متعدد: تصميم مدمج وتكوينات عديدة
- قياس دقيق، حتى مع تقلبات كبيرة في درجة الحرارة
الأسئلة والأجوبة
ما هي نطاقات الضغط المتاحة لهذه المحولات؟
تتوفر نطاقات من 0 … 2 bar إلى 0 … 400 bar (أو ما يعادلها بوحدات MPa وpsi)، مثل 0 … 10 bar، 0 … 25 bar، 0 … 160 bar، 0 … 1 MPa، 0 … 10 MPa، 0 … 500 psi، 0 … 3000 psi.
ما دقة القياس؟
≤ 0.1 % من المدى (BFSL) للنطاقات الأكبر من 2 bar، و≤ 0.15 % من المدى (BFSL) للنطاقات ≤ 2 bar، وفقاً للمعيار IEC 61298-2.
هل يمكن استخدامها في المناطق الخطرة؟
نعم، تحمل شهادات Ex ec ic IIC T4/T5/T6 Gc X، كما أنها معتمدة من FM للاستخدام في Class I, Division 2, Groups A,B,C,D وفي Class I, Zone 2, Group IIC.
ما هي إشارات الخرج والتغذية الكهربائية؟
إشارات الخرج هي 4 … 20 mA أو 0 … 5 V أو 0 … 10 V، مع تغذية DC 10 … 30 V.
ما هي مواد الأجزاء الملامِسة للوسط؟
فولاذ مقاوم للصدأ 1.4404 (316L) VIM/VAR أو 316L متوافق مع SEMI F20، وحساس غشاء رقيق من النوع 2.4711/UNS R30003 — جميعها مناسبة للغازات فائقة النقاوة.
ما حدود درجات الحرارة؟
درجة حرارة الوسط من -20 … +100 °C، ودرجة حرارة البيئة المحيطة من -20 … +85 °C.
ما درجة الحماية من الغبار والماء؟
درجة الحماية IP67، بوزن لا يتجاوز 0.1 kg.
ما الذي يميز هذه الطرازات عن غيرها؟
تصميم فائق الاكتناز مع أجزاء ملامِسة مصقولة كهربائياً من 316L وحساس غشاء رقيق خاص، مما يجعلها مخصصة لقياس ضغط الغازات فائقة النقاوة في صناعة أشباه الموصلات، مع تشكيلة واسعة من وصلات العملية والتوصيلات الكهربائية وضبط سهل لنقطة الصفر عبر مقاومة ضبط جانبية.
| الطراز | WUC-10 |
| السلسلة | WUC |
| النوع الفرعي | Transducer |
| نطاق الضغط | 0…10 bar · 0…16 bar · 0…2 bar · 0…4 bar · 0…7 bar · 0…25 bar · 0…40 bar · 0…60 bar · 0…100 bar · 0…160 bar · 0…250 bar · 0…400 bar · 0…0.2 MPa · 0…0.4 MPa · 0…0.7 MPa · 0…1 MPa · 0…1.6 MPa · 0…2.5 MPa · 0…4 MPa · 0…6 MPa · 0…10 MPa · 0…16 MPa · 0…25 MPa · 0…40 MPa · 0…30 psi · 0…60 psi · 0…100 psi · 0…160 psi · 0…250 psi · 0…300 psi · 0…500 psi · 0…1000 psi · 0…1500 psi · 0…2000 psi · 0…3000 psi · 0…5000 psi |
| فئة الدقة | ≤ 0.1 % of span (BFSL) for ranges > 2 bar, ≤ 0.15 % of span (BFSL) for ranges ≤ 2 bar |
| معيار الدقة | IEC 61298-2 |
| وصلة العملية | ¼" swivel union nut¼" male swivel nut¼" fixed male nut¼” T-connector¼” weld stubMSM C-seal 1 ⅛"MSM W-seal 1 ⅛"MSM C-seal 1 ½"MSM W-seal 1 ½"¼" T-connector¼" weld stub1/4" swivel union nut1/4" male swivel nut1/4" T-connector1/4" weld stub |
| درجة حرارة العملية | −20…+100 °C |
| إشارة الخرج | 4-20mA · 0-5V · 0-10V |
| التغذية | DC 10 ... 30 V |
| وصلة كهربائية | Bayonet connector (4-pin), Circular connector M12 x 1 (4-pin), Cable outlet, Sub-D connector (9-pin), Sub-D HD connector (15-pin) |
| مادة العلبة | Stainless steel 1.4301 (304) |
| مادة الأجزاء الملامسة | Stainless steel 1.4404 (316L) VIM/VAR, 2.4711/UNS R30003, Stainless steel 1.4404 (316L) per SEMI F20, Stainless steel 1.4404 (316L) |
| حرارة المحيط | −20…+85 °C |
| تصنيف IP | IP67 |
| الوزن | 0.1 kg |
| الشهادات | CERoHSPressure Equipment DirectiveREACHEMC directive EN 61326 |
| حماية الانفجار | Ex ec ic IIC T4/T5/T6 Gc X[II 3G Ex ec ic IIC T4/T5/T6 Gc X][Ex ec ic IIC T4/T5/T6 Gc X]- Non-incendive apparatus for use in class I, division 2, groups A,B,C,D- Non-incendive for use in class I, zone 2, group IIC (classified) locationsFM: Non-incendive for use in class I, division 2, groups A,B,C,DFM: Non-incendive for use in class I, zone 2, group IICII 3G Ex ec ic IIC T4/T5/T6 Gc XFM: Class I, Division 2, Groups A,B,C,D; Class I, Zone 2, Group IIC |
| لغات ورقة البيانات | EN, DE |
| Non-linearity per BFSL per IEC 61298-2 | ||
|---|---|---|
| For measuring ranges > 2 bar | ≤ 0.1 %of span | |
| For measuring ranges ≤ 2 bar | ≤ 0.15 %of span | |
| Accuracy | → See 'Max. measured error' below | |
| Max. measured error | ||
| RSS (root sum squares) | For measuring ranges ≤ 2 bar | ≤ 0.4 %of span |
| For measuring ranges > 2 bar | ≤ 0.2 %of span | |
| Per IEC 61298-2 | For measuring ranges ≤ 2 bar | ≤ 1 %of span |
| For measuring ranges > 2 bar | ≤ 0.5 %of span | |
| Zero point setting | ||
| Current output | -5 ... +3.5 %of span (via potentiometer) | |
| Voltage output | -2 ...+5 %of span (via potentiometer) | |
| Non-repeatability per IEC 61298-2 | ≤ 0.12 %of span | |
| Mean temperature coefficient at -20 ... +80 °C [-4 ... +176 °F] (actively compensated) | ||
| Zero point | ≤ 0.1 %of span/10 K | |
| Span | ≤ 0.15 %of span/10 K | |
| Long-term drift per IEC 61298-2 | ||
| For measuring ranges ≤ 2 bar | ≤ 0.4 %of span | |
| For measuring ranges > 2 bar | ≤ 0.25 %of span, at reference conditions | |
| Reference conditions | Per IEC 61298-1 |
| bar | |
|---|---|
| 0 ... 2 | 0 ... 40 |
| 0 ... 4 | 0 ... 60 |
| 0 ... 7 | 0 ... 100 |
| 0 ... 10 | 0 ... 160 |
| 0 ... 16 | 0 ... 250 |
| 0 ... 25 | 0 ... 400 |
| 0 ... 0.2 | 0 ... 4 |
|---|---|
| 0 ... 0.4 | 0 ... 6 |
| 0 ... 0.7 | 0 ... 10 |
| 0 ... 1 | 0 ... 16 |
| 0 ... 1.6 | 0 ... 25 |
| 0 ... 2.5 | 0 ... 40 |
| 0 ... 2 | 0 ... 10 |
|---|---|
| 0 ... 4 | 0 ... 16 |
| 0 ... 7 | - |
عرض الكل (19)
| psi | |
|---|---|
| 0 ... 30 | 0 ... 500 |
| 0 ... 60 | 0 ... 1,000 |
| 0 ... 100 | 0 ... 1,500 |
| 0 ... 160 | 0 ... 2,000 |
| 0 ... 250 | 0 ... 3,000 |
| 0 ... 300 | 0 ... 5,000 |
| 0 ... 30 | 0 ... 160 |
|---|---|
| 0 ... 60 | 0 ... 250 |
| 0 ... 100 | - |
| 0 ... 0.2 | 0 ... 1 |
|---|---|
| 0 ... 0.4 | 0 ... 1.6 |
| 0 ... 0.7 | - |
| Units | ■ bar ■ psi ■ MPa |
|---|---|
| Maximum working pressure | Corresponds to the upper measuring range value/measuring range full scale value |
| Overpressure limit | The overpressure limit is based on the measuring range. Depending on the selected pro- cess connection and the seal, restrictions in overpressure limit can result. |
| Process connection | ||
|---|---|---|
| Model Model WUC-10 | Thread size ¼" swivel union nut | Max. measuring 400 bar [6.000 psi] |
| ¼" male swivel nut | ||
| ¼'T-connector | ||
| ¼' weld stub | 20 bar [300 psi] | |
| Model WUC-15 | ¼" fixed male nut | 400 bar [6,000 psi] |
| ¼" swivel union nut | ||
| ¼" weld stub | ||
| Model WUC-16 | MSMC-seal 1 ⅛" | 50 bar [750 psi] |
| MSMW-seal 1 ⅛" | ||
| MSMC-seal 1 ½" | ||
| MSMW-seal 1 ½" |
| Signal type | ||
|---|---|---|
| Current (2-wire) | 4 ...20mA | |
| Voltage (3-wire) | ■ DC 0 ...5V ■ DC 0 ...10V | |
| Load | ||
| Output signal 4 ...20mA | ≤ (auxiliary power - 10 V) / 0.02 A | |
| Output signal DC 0 ...5V | > 5 kΩ | |
| Output signal DC 0 ...10V | > 10 kΩ | |
| Voltage supply | ||
| Auxiliary power | Output signal DC 0 ...5V / 4 ...20mA | DC 10 ...30V |
| Output signal DC 0 ...10V | DC 14 ...30V | |
| Power P max | 1W | |
| Dynamic behaviour | ||
| Rise time (10 ... 90 %) | ≤ 300 ms |
| Connection type | IP code ¹⁾ | Wire cross-section | Cable diameter | Cable length |
|---|---|---|---|---|
| Bayonet connector (4-pin) | IP67 | - | - | - |
| Circular connector M12 x 1 (4-pin) | IP67 (NEMA 4) | - | - | - |
| Cable outlet | IP67 (NEMA 4) | 0.22 mm² (AWG 24) | 4.8 mm[0.19 in] | ■ 1.5 m[5 ft] ■ 3 m[10 ft] ■ 12 m[40 ft] |
| Sub-D connector (9-pin) | IP54 | - | - | - |
| Sub-D HD connector (15-pin) | IP54 | - | - | - |
| Connection type | → See table 'Electrical connection' on page 4 |
|---|---|
| Wire cross-section | → See table 'Electrical connection' on page 4 |
| Cable diameter | → See table 'Electrical connection' on page 4 |
| Cable length | → See table 'Electrical connection' on page 4 |
| Pin assignment | → See 'Pin assignment' on page 4 |
| Ingress protection (IP code) per IEC 60529 | → See table 'Electrical connection' on page 4 |
| Short-circuit resistance | S+ vs. U- |
| Reverse polarity protection | U+ vs. U- |
| Insulation voltage | DC 500V |
| 2-wire | 3-wire | ||
|---|---|---|---|
| U+ | 1 | 1 | |
| U- | 3 | 3 | |
| S+ | - | 4 |
| Material (wetted) | ||
|---|---|---|
| Process connection | Material | ■ Stainless steel 1.4404 (316L) per SEMI F20 ■ Stainless steel 1.4404 (316L) VIM/VAR |
| Surface treatment | Electropolished per SEMI F19 | |
| Thin-film sensor | 2.4711/UNS R30003 | |
| Material (in contact with the environment) | ||
| Case | Stainless steel 1.4301 (304) | |
| Surface roughness Ra | ||
| Typical | ≤ 0.13 µm (RA 5) | |
| Maximum | ≤ 0.18 µm (RA 7) |
| Permissible temperature ranges | Non-Ex | T4 | T5 | T6 |
|---|---|---|---|---|
| Medium temperature limit | -20 ...+100 °C [-4 ...+212 °F] | -20 ...+85 °C [-4 ...+185 °F] | -20 ...+60 °C [-4 ...+140 °F] | -20 ...+40 °C [-4 ...+104 °F] |
| Ambient temperature limit | -20 ...+85 °C [-4 ...+185 °F] | -20 ...+85 °C [-4 ...+185 °F] | -20 ...+60 °C [-4 ...+140 °F] | -20 ...+40 °C [-4 ...+104 °F] |
| Storage temperature limit | -40 ...+100 °C [-40 ...+212 °F] | -20 ...+85 °C [-4 ...+185 °F] | -20 ...+85 °C [-4 ...+185 °F] | -20 ...+85 °C [-4 ...+185 °F] |
| Permissible media | Speciality gases, Vapours, Liquids |
|---|---|
| Helium leak test | < 1 x 10 -9 mbar l/sec (atm STD cc/sec) per SEMI F1 |
| Pollution degree | 2 |
| Vibration resistance per IEC 60068-2-6 | 0.35 mm(10 ... 58 Hz) / 5g (58.1 ... 2,000 Hz) |
| Shock resistance per IEC 60068-2-27 | 500g (1.5 ms) |
| Ingress protection (IP code) per IEC 60529 | → See 'Electrical connection' |
| Packaging | Double packaging per SEMI E49.6 |
|---|---|
| Assembly and packaging location | Clean room class 5 per ISO 14644 |
| Instrument labelling | WIKA product label, glued |
| Logo | Description | Country |
|---|---|---|
| EU declaration of conformity 61326 emission (group 1, class B) and immunity (industrial environments) Pressure Equipment Directive | European Union | |
| EMCdirective EN | ||
| IECEx (option) Hazardous areas - Ex zone 2 (gas) [Ex ec ic IIC T4/T5/T6 Gc X] FM (option) Hazardous areas Non-incendive apparatus for use in class I, division 2, groups A,B,C,D | International | |
| - - Non-incendive for use in class I, zone 2, group IIC (classified) locations | USA |
| MTBF | > 100 years |
|---|
لم تجد الإجابة في الوثائق؟ سيرد المهندس خلال يوم عمل.
اسأل المهندس →